
FFU(Fan Filter Unit)風機過濾單元是凈化車間的核心設備,通過 **“風機 + 高效過濾器”的一體化設計,實現(xiàn)局部或全區(qū)域的空氣凈化 **。以下是其工作原理、關鍵作用及應用場景:
風機:通常采用后傾離心風機或無刷直流風機(EC 風機),提供穩(wěn)定風壓(100-500Pa)。
過濾器:頂部集成高效(HEPA)或超高效(ULPA)過濾器,過濾效率≥99.97%@0.3μm(HEPA)或≥99.9995%@0.12μm(ULPA)。
外殼:采用鍍鋅鋼板或鋁合金材質(zhì),表面靜電噴涂(防腐),厚度 0.8-1.2mm。
空氣從底部吸入,經(jīng)初效預過濾(如 G4 級)去除大顆?;覊m。
風機將空氣加壓后,通過高效過濾器攔截≥0.3μm 的微塵和細菌。
凈化后的空氣以均勻風速(通常 0.3-0.5m/s)送至工作區(qū)域,形成垂直或水平單向流。
顆粒物控制:
可將百級潔凈區(qū)(ISO 5 級)的≥0.5μm 粒子數(shù)控制在3,520 個 /m3 以下(優(yōu)于國標要求)。
對病毒載體(如新冠病毒氣溶膠,直徑約 0.1-1μm)的過濾效率>99.9%。
微生物去除:
潔凈度等級:
風速與風量:
計算公式:風量(m3/h)= 面積(㎡)× 凈高(m)× 換氣次數(shù)。
例如:100㎡萬級車間(凈高 3m),換氣次數(shù) 20 次 /h,則總風量 = 100×3×20=6,000m3/h,需配置 12 臺 1200×600mm 的 FFU(單臺風量 500m3/h)。
對比項 | FFU 系統(tǒng) | 傳統(tǒng)集中式系統(tǒng) |
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初投資 | 較高(設備單價高) | 較低(設備單價低) |
運行能耗 | 低(分區(qū)控制,EC 風機節(jié)能) | 高(全區(qū)域統(tǒng)一運行) |
靈活性 | 高(模塊化,可隨時增減) | 低(管道固定,改造困難) |
維護難度 | 低(單人可更換過濾器) | 高(需專業(yè)團隊維護管道) |
潔凈度均勻性 | 高(風速偏差≤±10%) | 中(風速偏差≤±20%) |
適用場景 | 電子、醫(yī)藥等高要求行業(yè) | 食品、普通實驗室等低要求場景 |
配置:
3000㎡光刻區(qū),采用1200×1200mm FFU滿布(約 2,000 臺),配合MAU 新風機組(三級過濾)。
風速 0.45m/s,潔凈度穩(wěn)定在 ISO 4 級(優(yōu)于百級)。
成效:
FFU 的核心優(yōu)勢在于 **“高效凈化 + 靈活控制”**,尤其適用于:
對潔凈度要求極高的場景(如芯片、無菌藥品)。
需頻繁調(diào)整布局的實驗室或研發(fā)中心。
節(jié)能需求強烈的項目(如 24 小時運行的車間)。
選型時需結(jié)合行業(yè)標準(如 GB 50073、ISO 14644)和工藝特殊性,通過合理配置滿布率、選擇 EC 風機和智能控制系統(tǒng),實現(xiàn)性能與成本的最優(yōu)平衡。